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| 纳米测量工作台采用光栅计量系统计量位移，而且采用压电陶瓷作为驱动机构，而压电陶瓷能够做到纳米级的驱动，所以工作台具有非常高的精度。根据用户的不同需求我们作以下几种纳米工作台 |
短行程一维纳米测量工作台
◆行程30μm
◆分辨率1nm
◆参考价格：RMB1.5万元
短行程二维纳米测量工作台
◆行程30μm×30μm
◆分辨率1nm
◆参考价格：RMB3万元
长行程一维纳米测量工作台
◆行程30mm
◆分辨率10nm
◆参考价格：RMB3万元
长行程二维纳米测量工作台
◆行程30mm×30mm
◆分辨率1nm |
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仪器测量原理:
表面轮廓测量中心为集成式测量系统，它组合了激光干涉式接触位移传感器，自聚焦非接触位移传感器，白光干涉垂直位移扫描等技术，配以组合设计的电子硬件及功能强大的软件，形成多功能、宽范围的综合测量系统。 |
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仪器的主要用途:
a.二、三维表面形貌测量 b.膜厚和台阶测量 c.刻线和沟槽尺寸测量 d.任意曲面形貌测量
e.球面和非球面轮廓非接触测量 f.MEMS三维尺寸测量振动测量
仪器的基本介绍:
表面轮廓测量中心为大型宽范围多功能综合表面轮廓测量系统，表面轮廓的垂直测量范围为0-5mm,水平测量范围为50mmX50mm,分辨率为0.2um,可采用接触方式，也可采用非接触方式，可进行二维测量评定，也可以进行三维测量评定，仪器可适用于表面形貌，轮廓尺寸，位置误差，台阶，沟槽，膜厚等测量，可广泛用于精密加工，光学元件制造，光刻，微电子元件制作，MEMS，生物工程等行业。
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| 泛应用于精密加工、光学元件制造、光刻、微电子元件制作、MEMS、生物工程等行业。WIVS型非接触三维轮廓测量仪主要用于表面粗糙度，波度，形状误差，沟槽深度，镀层厚度，轮廓尺寸，MEMES几何量的测量。该仪器采用白光干涉垂直扫描原理，具有大量程，纳米分辨率的特点，仪器采用非接触测量方式，可三维测量，也可二维测量，且效率高，接触式三维形貌测量与评定要数十分钟到数小时才能完成，本仪器只需要数秒钟到数十秒即可完成。 |
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软件及功能：
1.虚拟仪器操作界面包括：
a.测量信号监测 b.采样间距选择 c.采样长度选择 d.测量范围选择
2.测量定标
a.电机控制滤波选择 b.最小二乘方法 c.高斯滤波方法 d.多项式滤波方法
e.小波滤波方法
3.评定参数选择
a.国标6个参数 b.ISO4287 36个参数 c.ISO1208 57个参数（motif 评定）
4.评定图形
a.二维轮廓误差曲线 b. tp图 c.三维形貌图 d.等高图 e.支承面积图
f.二维motif划分曲线
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技术指标：
1.光针直径<1um
2.测量范围： X=0～50mm
Y=0～50mm
Z=±3mm
3.测量分辨率：X=0.5um
Y=0.5um
Z=0.005um |
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我们经验丰富的工程师能针对您行业的特殊需求选择正确的解决方案。如果您对我们的机器感兴趣或者您有任何疑问：请与我们的技术工程师联系！ |
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